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电子束蒸发系统

1.1

设备配置

设备配置清单：

1. 工艺样品真空室；

2. 蒸发源真空室；

3. 真空系统：双大抽速磁悬浮分子泵+干泵；

4. 坩埚数量×6；

5. 8千瓦电子枪；

6. 水冷样品台；

7. 自动控制系统

环境约束

1. 1．水、电、气需求和保障情况：

供电： 380 伏 (±5%)，50Hz，3相5线，最大功率30千瓦；

供水：流量 30-35 升/分钟，制冷功率4千瓦，水温18到25摄氏度，进水压力 0.4到0.5MPa，出水压力小于0.1MPa，最大进水压力小于0.5MPa；

供气：流量 15-25 升/小时，干燥空气，压力90-110 Psi，用于系统阀门工作，采用外径6毫米塑料管连接到设备上。
2. 设备环境温度要求：15 至 35 摄氏度

1.2

项目技术及质量要求

1. 沉积材料：各种金属；

2. ★不锈钢工艺真空腔内径不小于500毫米，高度不低于500毫米，工艺腔室前开门上附带至少一个直径不小于100毫米防辐射的观察窗；

3. ★ 配有上下两个独立的工艺腔室，蒸发源腔室和镀膜腔室独立真空，互不干扰，每次可装载一个8英寸样品或更小尺寸样品；

4. ★电子束蒸发源：配置一把国际主流品牌六坩埚位，容量15CC电子枪；带流量感应探头的冷却水回路；坩埚控制器与PLC和薄膜沉积控制器连接，可以自动选择坩埚位；一台8千瓦电子枪电源，配扫描控制器，可存储至少30个不同的电子书扫描图形；

5. ★ 薄膜沉积系统：配置一套国际主流品牌晶振控制器，集成于系统PLC可用于蒸发源和挡板的自动操作，配置一套双探头晶振探测器；

6. ★配有一个直径不小于8英寸旋转工件台，旋转速度：0～20转/分钟，采用磁流体密封；在保证均匀性的前提下每批次可沉积不少于3片4英寸样品；

7. ★上真空室配有一台抽速不小于2000L/s的磁悬浮分子泵；下真空室配有一台抽速不小于2000L/s的磁悬浮分子泵；配有两台抽速不小于20cfm的干式机械泵；

8. ★ 配有三个插板阀，采用不锈钢阀体，连续无故障运行50000次，；电控气动执行，并带位置反馈；

9. ★ 真空性能：极限真空优于5E-5Pa；

10. ★真空抽速：工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于10分钟；

11. 真空室漏率：优于5E-3Pa·L/s；

12. 前级管道需安装检漏阀；

13. ★ 系统配有全量程真空规，皮拉尼真空规；

14. 沉积薄膜8英寸范围内厚度均匀性小于等于±5%；连续作业，厚度均值波动小于±2%；

15. 系统需配有全自动控制软件及控制电脑，可以实现“一键式”全自动操作，自动按照编辑好的工艺菜单执行抽真空、加热、预清洗、镀膜、真空室放气、进样取样等所有操作；有手动、自动和维修三种操作模式；

16. 工艺人员可以方便地创建、编辑、存储工艺文件，可储存工艺文件数量不少于200个；设备带有完整的互锁，保障人员和设备安全；设备可自动自动记录并存储工艺参数，方便出现工艺问题时追溯查找问题。

17. ★控制操作空间和设备维护空间相隔离，整个操作和运行工作都能够在同一个平面完成，满足实验室穿墙设计，主控计算机、工艺腔室开门和进样室开门在同一个垂直平面上

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售后服务

售后服务

1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。

投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。

2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在2小时内响应，4小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。

3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。

4、质保期1年。