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超高真空脉冲激光沉积设备

技术参数

1、 定制超高真空柱形腔体，腔体顶法兰尺寸为CF400，材质为316L不锈钢，符合超高真空要求的不同尺寸法兰口，外表面电解抛光，真空度优于5×10^-9mbar。

2、 配备2套VAT CF150带位置反馈的超高真空气动闸板阀隔离泵组和快速进样室之间的隔离。

3、 配备1套真空系统，包含普发700分子泵1台，接口为DN160CF Edwards nXDS15i无油涡旋机械泵1台。机械泵和分子泵之间采用超高真空角阀、放气阀和波纹管隔离并且受PLC控制自动开关。

4、 真空测量系统配备英福康皮拉尼规1套，复合全量程真空计2套，电容薄膜真空计1套用于实现真空度的测试，数据值由控制器实时显示。

5、 配备超高真空两轴样品架一套，包含VAB磁流体旋转以及自动升降波纹管模块。Z轴移动行程 50mm，0.05mm 精度；R-旋转模块电动模式，旋转范围(绕 Z 轴)360 度，转速 20-50。RPM，0.5°精度；样品台兼容4英寸PLD样品，带主挡板（Main Shutter）；配备1个水冷罩，配备一套3英寸纯碳化硅加热盘，配备一体式温控直流电源，可以在氧气氛围（最高100Pa，需工艺证明其具备生长氧化物如BiFeO3的能力，提供生长的氧化物薄膜相关测试结果）内加热至1000摄氏度，采用Eurotherm PID控制器实现对温度的精确控制，采用K型热电偶测量加热温度。PC端友好控制软件实现对样品台旋转升降以及温度的精确控制。

6、 腔体底部法兰安装PLD靶台，靶台集成至CF200法兰上，最多可放置6个1英寸靶材。配备靶台的自转和公转（齿轮转动），以及X轴移动，充分利用靶材，由伺服电机精确控制移动，重复定位误差：±0.05°。配备无油高精密轴承，避免靶台旋转过程中卡顿。配备靶台Z1-整体升降模块，行程50mm，实现对靶材的自动抓取。可实现不破坏真空情况由机械手下传输靶材至靶台。靶台之间配备挡板，防止靶材互相污染。

7、 进样室可同时停放4个4英寸样品和6个1英寸的靶材，VAB 100mm自动升降模块控制样品和靶材的选取，真空度半小时内可达到5×10^-6mbar，配备一套普发80分子泵，10i机械泵一套。配备超高真空角阀、放气阀以及波纹管，PLC自动控制。配备英福康全量程真空计1套，UHV Transfer 900mm行程手动传样杆一个。

8、 配备三路Horiba 100sccm质量流量计实现Ar，O2，N2的进气，每路气路配备混气管和富士金气动隔膜阀实现气路的隔离和保护。软件自动控制进气与退火，方便在高温退火中进行气压的精确控制。

9、 烘烤系统，配备7米加热带和1个烘烤控制器，可以实现温度控制显示。LED真空照明，配备1个控制器和4个LED等，配套线缆。19寸机柜1个，铜垫片及螺丝螺母若干。支撑框架为高强度铝合金支架，根据系统结构定制，大滚轮，便于移动，可锁定，不易晃动。用电设备输入电标准：220V AC50Hz 或者380V AC 50Hz；

10、 控制系统采用工控机和PLC作为控制单元，配备串口服务器实现串口的控制。PLC自动控制泵组启停，实现硬件互锁，保证系统稳定运行，PLC配置UPS，断电时软件自动保护，可以实现泵组的平稳降速并保护真空。通信线缆实现各个控制单元与控制系统的连接。PC和PLC实现互通，软件可以实现镀膜过程的手动和自动控制，并且可以实现系统报警状态监控，可实现真空互锁，用户管理，工艺菜单管理，电源保护，交叉互锁等功能。配备继电器模块实现切换器等的自动控制。配备灯塔，方便用户判断设备状态。

11、 安装调试：在仪器到达前1~2个月，中标人应通知用户水、电、气及其他仪器必备辅助设施的具体要求，从而让用户提前做好仪器安装准备。中标人应在收到用户通知后4周内派遣制造商的技术人员前往用户指定地点进行安装调试。中标人负责系统包装、运输及保险。培训服务：必须由制造商资深工程师对3-5名用户操作人员进行全面系统的培训，包括设备基本原理、设备安全及注意事项、设备操作、工艺流程、样品制备演示、设备基本维护及远程技术支持演示。售后服务：自双方现场验收合格，主机及配套设备保修期2年，保修期内提供全免费保修，包括零配件费用、人工费用、差旅费用等费用均由中标人承担。易耗易损品不在免费维修更换服务范围内。维修响应时间：对相关的技术故障能在48小时内及时进行响应，并通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在5个工作日内仍不能解决问题：供方工程师5个工作日上门检修。免费保修期后，中标人提供终身维修及技术服务，保证零配件的供应，零配件价格享有中标价同等折扣；若某些零部件供应商停止生产，中标人有义务协调各方提供替代解决方案。