1. 采购货物有关信息
设备名称：临界点干燥仪
技术指标：
序号 |
货物/服务名称 |
详细参数要求 |
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临界点干燥仪 |
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硬件及性能参数 |
★3.1可满足4英寸及其以下尺寸晶圆的超临界干燥，配置有4" HF相容晶圆架，每个支架可放置至少5片样品，每次运行可以一次性干燥5片直径为4英寸晶圆，也可以使用样品室填块改变样品室直径，满足方晶等不规则片的超临界干燥 ★3.2采用外部双T型0.5μm颗粒过滤器，以及0.08μm内部过滤器系统，确保过滤后的LCO2到样品室颗粒物直径在0.08μm以内 ★3.3配置气液分离器分离乙醇和CO2，可消除静电，环保 ★3.4配置有不少于四个微量型计量阀，精准控制COOL、FILL、PURGE、BLEED、VENT步骤的液态和气态二氧化碳流量；可重复操作确保结果的可重复性 ★3.5通过高清触摸屏控制，操作全自动，每个步骤均有LED显示 #3.6采用垂直样品室，以便于放置样品 #3.7样品室底部需有照明灯，样品室盖子需带观察窗，便于观察样品室内部状态 3.8温度表范围：- 30 ℃ 至 60 ℃，压力表范围：0 - 2000 psi 3.9采用集成式固态电子系统，可实现自动控温 3.10采用液态二氧化碳降温方式，可快速降低样品室系统温度 3.11配置有静态压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性 3.12具有慢速充液功能，以保护敏感微电子元件 3.13设备需简洁、轻巧、经济，为台式自动临界点干燥仪 *是必须满足的重要指标 |
2 |
售后服务 |
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售后服务 |
1.供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。 投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料 2.到货后免费由供货方的技术人员到现场免费进行安装调试。安装、调试及试运行后应达到承诺的技术指标，同时提供不少于1天的使用培训。 3.质保期：验收之日起至少1年 4.在质保期内，投标人在接到客户的维修通知能在24小时内响应，2个工作日内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理 5.在质保期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按质保期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。 |
数量：
交货期：两个月内
交货地点：永利官网智能微纳公共创新中心
是否接受进口产品 ：是
2、采购预算（最高限价）：40万元
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
⑤ 参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：按照以下要求准备报名信息发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。
邮件标题：公司名称+采购项目名称；
邮件内容：需注明公司名称，地址，销售人员全名及联系方式；
附件：法人证书扫描件，法人授权书扫描件（含法人及销售人员身份证扫描件），采购需求中列出的相应资质证明，整理为同一个PDF文件发送。不符合要求者不予接收；
截止报名时间：2022年 10月 16日 17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2022年 10月18 日；方式：鉴于疫情影响，采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
2022年10月17日前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章，报价单请单独密封）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区学院路37号永利官网学院路校区新北门
李栋老师收，电话：18101269085
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
李栋老师，邮箱：shuiguodong@buaa.edu.cn
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
窗体底端
