304am永利集团官网分离式晶圆级高精度纳米扫描组件采购项目由304am永利集团官网成立竞价小组通过竞价方式采购，现将竞价过程及结果公示如下：
1. 采购名称：分离式晶圆级高精度纳米扫描组件
2. 采购经办人：杨怀文
3. 竞价小组成员组成情况：
序号 |
姓名 |
单位 |
职称 |
| 1 |
杨怀文 |
304am永利集团官网 |
助理研究员 |
| 2 |
张慧 |
304am永利集团官网 |
副教授 |
| 3 |
高桂杰 |
304am永利集团官网 |
职工 |
4. 竞价结果详情：
序号 |
供应商（全称） |
报价（万元） |
数量 |
主要产品情况 |
| 品牌 |
型号 |
性能指标 |
| 1 |
山东易测仪器有限公司 |
96.9 |
1.0 |
分离式晶圆级高精度纳米扫描组件 |
分离式晶圆级高精度纳米扫描组件 |
a）210mm真空吸附全自动样品台，可程序化控制； b）扫描台移动范围 XY: 180 mm×180 mm，XY全范围运动最大高度起伏低于5 nm c）和XY位移系统分离的z向纳米移动平台 Z轴移动范围≥3 cm Z闭环噪音≤0.05 nm d）兼容高精度光学位移探测头，含自动PID硬件反馈控制系统及相关操控软件,可根据扫描结果绘制待测样品形貌 e）配备减震隔音系统 f）包含数字锁相放大器 g）配备主动式减震台 |
| 2 |
中科政仪（北京）科技发展有限公司 |
95.0 |
1.0 |
分离式晶圆级高精度纳米扫描组件 |
分离式晶圆级高精度纳米扫描组件 |
a）210mm真空吸附全自动样品台，可程序化控制； b）扫描台移动范围 XY: 180 mm×180 mm，XY全范围运动最大高度起伏低于5 nm c）和XY位移系统分离的z向纳米移动平台 Z轴移动范围≥3 cm Z闭环噪音≤0.05 nm d）兼容高精度光学位移探测头，含自动PID硬件反馈控制系统及相关操控软件,可根据扫描结果绘制待测样品形貌 e）配备减震隔音系统 f）包含数字锁相放大器 g）配备主动式减震台 |
| 3 |
青岛博阳鑫工贸有限公司 |
98.0 |
1.0 |
分离式晶圆级高精度纳米扫描组件 |
分离式晶圆级高精度纳米扫描组件 |
a）210mm真空吸附全自动样品台，可程序化控制； b）扫描台移动范围 XY: 180 mm×180 mm，XY全范围运动最大高度起伏低于5 nm c）和XY位移系统分离的z向纳米移动平台 Z轴移动范围≥3 cm Z闭环噪音≤0.05 nm d）兼容高精度光学位移探测头，含自动PID硬件反馈控制系统及相关操控软件,可根据扫描结果绘制待测样品形貌 e）配备减震隔音系统 f）包含数字锁相放大器 g）配备主动式减震台 |
确定成交结果单位：中科政仪（北京）科技发展有限公司
确定成交报价：95 万元
公示期从2022年06月07日起至2022年06月10日止。
各供应商或者其他利害关系人对本项目的过程及结果有异议的，可在公示期内以书面形式（包括联系人、地址、联系电话）将意见反馈至永利官网 304am永利集团官网，监督人:梁恩和，联系电话：18810509156，邮箱：shaolin@buaa.edu.cn 。
