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发布日期：2022-04-15　　　点击量：

1. 采购货物有关信息

1、采购货物相关信息：

（1）货物名称：紫外光刻机

（2）技术指标：

序号	货物/服务名称	详细参数要求
1	紫外光刻机
	技术参数	1. 适用于Φ100mm圆形基片 2. 采用LED紫外光源，正常工作时间在2万小时以上； 3. 曝光面积Φ100mm 4. 在Φ100mm 范围内,曝光不均匀性≤±3%，曝光强度：0～30mw/ cm²（紫外 5. 光源I 线365nm 测量） 6. 曝光分辩率：1μm 7. 对准精度：±0.5μm 8. 整个对准台相对于显微镜可作±15mm 扫描运动 9. 对准台X、Y 调整：±4mm （片动，版不动） 10. θ调整：±3° 是关键参数
2	售后服务
	售后服务	1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。 2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应，48小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。 3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。 4、质保期1年。

（3）数量：

序号	产品	数量/单位
1	紫外光刻机	1套

（4）交货期：合同签订后5个月内

（5）交货地点：永利官网智能微纳公共创新中心

（6）是否接受进口产品：是

2、采购预算（最高限价）： 22万

3、参选单位资格要求：

（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；

（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

① 具有独立承担民事责任的能力；

② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（3）本项目不接受联合体响应；

（4）本项目不允许转包、分包；

（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；

（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

4、报名方式及截止时间：

报名方式：将报名信息（项目名称、公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间：2022年4月19日17时。

5、竞价会时间及方式：

时间：2022年4月20日；方式：鉴于疫情影响，采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。

6、参加竞价会所需提供材料：

4月19日18:00前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章，报价需单独密封）邮寄至以下地址：

地址：北京市海淀区永利官网北区第一馆

柳洋老师收，手机号：18701363677

7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：

柳洋老师，手机号：18701363677

8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：

邵老师，bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）

采购公示