1、设备技术参数： （1）BCl3气路分配管理： 由特气阀箱配给ICP设备 ，供气点：1个。具备紧急切断功能，手动关断功能，排风功能，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求； （2）H2 气路分配管理：由特气阀箱配给设备CVD和ICP设备，供气点：1个。具备独立调节压力功能，出、入口手动关断功能，排风功能。增加的供气点要能够实现泄露紧急切断，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求； （3）SiH4 气路分配管理：由特气阀箱配给CVD设备，供气点：4个。具备独立调压功能，手动关断功能，排风功能，具备紧急切断功能，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。管道要求双套管输送管理保证无泄漏，内管泄露报警功能。满足99.999999%纯度气体输送要求；； （4）CH4 气路分配管理：由特气阀箱配给CVD设备，供气点：2个。具备独立调节压力功能，出、入口手动关断功能，排风功能。增加的供气点要能够实现泄露紧急切断，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求； （5）HBr 气路分配管理：由特气阀箱配给设备CVD设备，供气点：1个。具备独立调节压力功能，出、入口手动关断功能，排风功能。增加的供气点要能够实现泄露紧急切断，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求； （6）NH3 气路分配管理：由特气阀箱配给CVD和ICP设备，供气点：6个。设备具备独立调压功能，手动关断功能，排风功能，具备紧急切断功能，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求； （7）高纯氮 气路分配管理：由纯化器气路配给 CVD、退火炉，ICP，RIE设备，供气面板：7个，面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求；。 （8）Ar 气路分配管理：由气架气路配给设备PVD、CVD 、退火炉、ICP、RIE、IBE，等离子去胶机设备，供气面板：8个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求； （9）He 气路分配管理：由气架气路配给ICP、RIE 、IBE 设备，供气面板：7个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求； （10）O2 气路分配管理：由气架气路配给PVD 、 CVD、ALD、退火炉，ICP ，RIE ，IBE ，等离子去胶机设备，供气面板: 10个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求； （11）CF4 气路分配管理：由气架气路配给CVD、ICP、RIE设备， 供气面板：4个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求； （12）SF6 气路分配管理：由气架气路配给ICP、RIE设备，供气面板：2个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求； （13）CHF3气路分配管理：由气架气路配给ICP、RIE设备，供气面板：2个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求； （14）N2O 气路分配管理：由气架气路配给CVD设备，供气面板：1个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求 ； （15）N2 纯化器旁通设备：有氮气站供气系统接入纯化氮气系统。要求使用双阀隔离。出口可以满足99.999999%纯度气体输送要求 ； （16）设备架：共2台，采用不锈钢材质，满足ICP混气柜和冷水机的需求； （17）应急电池组设备： 共1台，采用移动式，容量为6KW.hr。
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